Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at Karlsruher Institut für Technologie

Flashcards and summaries for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie

Arrow Arrow

It’s completely free

studysmarter schule studium
d

4.5 /5

studysmarter schule studium
d

4.8 /5

studysmarter schule studium
d

4.5 /5

studysmarter schule studium
d

4.8 /5

Study with flashcards and summaries for the course Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Def Nanoaktor

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Nenne min. 3 Beispiele für Top-Down-Verfahren.

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Nenne min. 3 Beispiele für Bottom-Up-Verfahren.

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Nenne den Unterschied zwischen Positiv-Resist und Negativ-Resist + Bsp.

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Was beschreibt der Proximity-Effekt? Wie wird der Proximity-Effekt korrigiert?

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Was ist das Problem beim Nassätzverfahren? Warum können damit keine nm-Strukturen realisiert werden?

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Nach welchen Prinzip funktioniert das RIE?

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Welche Prozessparameter beeinflussen das RIE?

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Was ist der Kryotherapie-Ätzprozess?
(Eig, Idee)

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Was sind die Probleme beim Kryo-Ätzprozess?

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Welcher Ätzprozess muss für Gold verwendet werden und warum?

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Was ist das Problem mit reaktivem Ionenätzen und was ist die Lösung?

Your peers in the course Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie create and share summaries, flashcards, study plans and other learning materials with the intelligent StudySmarter learning app.

Get started now!

Flashcard Flashcard

Exemplary flashcards for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie on StudySmarter:

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Def Nanoaktor
funktionsrelevante Strukturen besitzen nm-Abmessungen oder erfordern Nanotechnologien

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nenne min. 3 Beispiele für Top-Down-Verfahren.
  • Nanolithografie
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Lift-Off-Prozess
  • Opferschicht-Verfahren
  • Soft-Lithografie: NIL, SCIL, Dip-Pen-Lithografie

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nenne min. 3 Beispiele für Bottom-Up-Verfahren.
  • Chemische Verfahren
  • Scanning-Probe-Methoden
  • Selbstorganisation

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nenne den Unterschied zwischen Positiv-Resist und Negativ-Resist + Bsp.
Positivresist: belichteter Teil wird gelöst, PMMA

Negativ-Resist: unbelichteter Teil wird gelöst, HSQ (Hydrogen silseqioxane)

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was beschreibt der Proximity-Effekt? Wie wird der Proximity-Effekt korrigiert?
Belichtung außerhalb des Zielbereiches
-> Energieeintrag E(x,y)

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist das Problem beim Nassätzverfahren? Warum können damit keine nm-Strukturen realisiert werden?
isotropes Ätzprofil
-> Isotropes Unterätzen maskierter Gebiete bei Strukturbreiten nahe der Schichtdicke

=> nm-Strukturen brauchen Trockenätzverfahren mit anisotropen Ätzprofil

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nach welchen Prinzip funktioniert das RIE?
Schichtabtrag durch reaktionsfähige Teilchen, elektr. neutrale Radikale oder Ionen

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Welche Prozessparameter beeinflussen das RIE?
  • Gasdruck
  • ICP-Leistung (Plasma)
  • Temperatur

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist der Kryotherapie-Ätzprozess?
(Eig, Idee)
-> TIeftemperatur-Trockenätzprozess für Si-Nanostrukturen mit nahezu vertikalen Seitenwänden und hohen Aspektverhältnis

Idee: Ätzrate abh. von Temperatur
 

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was sind die Probleme beim Kryo-Ätzprozess?
  • Resist wird durch kalte Temperatur beschädigt (Risse)
  • Ätz-Produkte kondensieren auf nächster kalter Oberfläche, wie Substrat oder Elektrode

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Welcher Ätzprozess muss für Gold verwendet werden und warum?
Reaktives Ionenstrahlätzen

weil: Gold geht keine flüchtigen Verbindungen ein

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist das Problem mit reaktivem Ionenätzen und was ist die Lösung?
Resist hat zu geringe Widerstandsfähigkeit im RIBE-Prozess

Lösung: Chrom-Maske, da Maskenlebensdauer mit Härte korreliert

Sign up for free to see all flashcards and summaries for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie

Singup Image Singup Image
Wave

Other courses from your degree program

For your degree program Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie there are already many courses on StudySmarter, waiting for you to join them. Get access to flashcards, summaries, and much more.

Back to Karlsruher Institut für Technologie overview page

Ober/Grenzflächen-Prozesse

Gefüge-Eigenschafts-Beziehungen

What is StudySmarter?

What is StudySmarter?

StudySmarter is an intelligent learning tool for students. With StudySmarter you can easily and efficiently create flashcards, summaries, mind maps, study plans and more. Create your own flashcards e.g. for Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at the Karlsruher Institut für Technologie or access thousands of learning materials created by your fellow students. Whether at your own university or at other universities. Hundreds of thousands of students use StudySmarter to efficiently prepare for their exams. Available on the Web, Android & iOS. It’s completely free.

Awards

Best EdTech Startup in Europe

Awards
Awards

EUROPEAN YOUTH AWARD IN SMART LEARNING

Awards
Awards

BEST EDTECH STARTUP IN GERMANY

Awards
Awards

Best EdTech Startup in Europe

Awards
Awards

EUROPEAN YOUTH AWARD IN SMART LEARNING

Awards
Awards

BEST EDTECH STARTUP IN GERMANY

Awards