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Micro- and Nanotechnologies · Technische Universität IlmenauVollzeitstudium · Ilmenau
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Technische Universität Ilmenau · Master

Micro- and Nanotechnologies an der Technische Universität Ilmenau

Der Masterstudiengang Micro- and Nanotechnologies an der TU Ilmenau bringt dich tief in die Fertigung und Charakterisierung von Bauelementen im Mikro- und Nanomaßstab – mitten in einer Region mit langer Tradition in Mikrosystemtechnik.

M.Sc.
Master of Science
120
ECTS-Punkte
4 Sem.
Regelstudienzeit 2 Jahre
Ilmenau
Studienort
StudySmarter Jobgarantie: Job in 6 Monaten nach dem Abschluss oder wir zahlen dein Coaching.Mehr erfahren →

Über den Studiengang

Die TU Ilmenau gilt als eine der profiliertesten technischen Universitäten Deutschlands für Mikrosystem- und Nanotechnik, und der Studiengang Micro- and Nanotechnologies bündelt genau diese Stärke in einem konsekutiven, forschungsnahen Masterprogramm. Wer hier studiert, bewegt sich zwischen Halbleiterphysik, Elektronikfertigung und den Werkzeugen, mit denen Strukturen im Nanometerbereich entworfen und untersucht werden.

Der Studiengang ist international ausgerichtet und richtet sich an Absolvent:innen technischer oder naturwissenschaftlicher Bachelorstudiengänge, die ihr Wissen in Richtung Halbleitertechnologie, Sensorik oder Mikroelektronik vertiefen wollen. Die Nähe zu Forschungseinrichtungen und Industriepartnern in und um Ilmenau schafft dabei einen direkten Bezug zwischen Theorie und späterer Praxis im Reinraum oder Labor.

Da der Zugang zulassungsfrei ist, zählt vor allem die fachliche Passung: Interesse an Halbleiterphysik, Elektronik und experimentellem Arbeiten ist wichtiger als ein bestimmter Notenschnitt.

Studiengang im Detail

Studieninhalte

Module wie Electronics Technology 1 und Semiconductor devices 1 vermitteln die technologischen Grundlagen der Bauelementefertigung, von Dotierprozessen bis zu Schichtabscheidung. Ergänzt wird dies durch Advanced Studies, in denen aktuelle Forschungsthemen vertieft und eigenständige Projektarbeit gefördert wird.

Praktische Labor- und Reinraumarbeit ist fester Bestandteil des Studiums, sodass Studierende lernen, mit Mess- und Fertigungsanlagen umzugehen, wie sie später auch in Industrie und Forschung eingesetzt werden.

Für wen passt das?

Der Studiengang eignet sich für alle, die einen technischen oder naturwissenschaftlichen Bachelor mitbringen und sich für Halbleitertechnologie, Elektronik oder Materialwissenschaften im Nanomaßstab begeistern. Gute Grundlagen in Physik und Elektrotechnik erleichtern den Einstieg deutlich.

Da viele Lehrveranstaltungen international ausgerichtet sind, profitieren besonders Studierende, die offen für ein englischsprachiges Studienumfeld und interdisziplinäres Arbeiten sind.

Karriere & Arbeitsmarkt

Absolvent:innen finden Anknüpfungspunkte in der Halbleiterindustrie, bei Herstellern von Sensorik und Mikrosystemen sowie in der angewandten Forschung. Die Kombination aus Fertigungs-Know-how und physikalischem Verständnis ist in einer Branche gefragt, die stark von Miniaturisierung und neuen Materialien geprägt ist.

Auch eine Promotion oder der Einstieg in Forschungsinstitute sind naheliegende Wege, gerade angesichts der Forschungsnähe des Studiengangs.

Hochschule & Format

Die TU Ilmenau bietet mit ihren Laboren und der thematischen Fokussierung auf Mikrosystemtechnik ein Umfeld, das Theorie und praktische Anwendung eng verzahnt. Das Vollzeitformat ermöglicht eine intensive, forschungsnahe Ausbildung ohne parallele Studienbelastung.

Die zulassungsfreie Zulassung senkt die Einstiegshürde, verlangt aber Eigeninitiative, um sich im anspruchsvollen technischen Curriculum zurechtzufinden.

Zulassung & Zugangswege

ZulassungsfreiMicro- and Nanotechnologies ist an der TU Ilmenau zulassungsfrei. Wer die Hochschulzugangs­berechtigung mitbringt und sich fristgerecht einschreibt, bekommt einen Platz – es gibt keinen Numerus Clausus.
BewerbungsfristApplications for the 2027/28 winter semester will be accepted via uniassist starting January 16, 2027
ZulassungsmodusKeine Zulassungsbeschränkung, ohne NC
UnterrichtsspracheEnglisch
Studienbeginn1. Oktober

Was du zum Bewerben brauchst

  • →Bewerbung innerhalb der oben genannten Frist einreichen
  • →Hochschulzugangsberechtigung (Abitur, Fachhochschulreife oder gleichwertig)
  • →Sprachnachweis für Englisch
Zulassungsfrei – kein NCWer die Hochschulzugangsberechtigung und die formalen Voraussetzungen erfüllt, bekommt den Platz. Entscheidend ist die fristgerechte Bewerbung.

Wie die Plätze vergeben werden

01

Das Auswahlverfahren

Punktevergabesystem basierend auf drei Kategorien: Relevanz des Bachelor-Studiengangs (maximal 40 Punkte), Abschlussnote (maximal 30 Punkte) und studienbezogene Leistungen wie Noten in relevanten Fächern und Bachelorarbeit oder Berufserfahrung (maximal 20 Punkte). Mindestens 60 Punkte erforderlich.

02

Was du mitbringen musst

Abschluss eines verwandten Bachelorstudiums; mindestens 60 Punkte aus drei Kategorien (Bachelor-Abschluss mit relevanten Kompetenzen, Abschlussnote, studienbezogene Leistungen)

03

NC und Notengrenzen

NC-frei

Dein Schnitt im Vergleich

Studiengang-Match und NC-Check

Gib deine Abiturnote ein und sieh mit echten NC-Daten, wie gut dieser und ähnliche Studiengänge zu dir passen.

Match starten →
Bewerbungsguide

So bewirbst du dich auf Micro- and Nanotechnologies

Frist und Unterlagen zuerst – alles Weitere folgt Schritt für Schritt.

Deine Fristen
Studienbeginn1. Oktober

Frist: Applications for the 2027/28 winter semester will be accepted via uniassist starting January 16, 2027

Die Termine gelten für das laufende Bewerbungsverfahren.

Das brauchst du
  • Hochschulzugangsberechtigung (Zeugnis)
  • Tabellarischer Lebenslauf
  • Was die Hochschule zusätzlich verlangt

Die Details stehen unter Zulassung auf dieser Seite.

Keine Zulassungsbeschränkung, ohne NC

Der Studiengang ist zulassungsfrei: Wer die Voraussetzungen erfüllt und fristgerecht einreicht, bekommt den Platz. Bewerbung mit deutschen Zeugnissen direkt über das Bewerbungsportal der TU Ilmenau; Bewerbung mit Zeugnissen aus EU/EEA oder außerhalb EU/EWR über uniassist

Schritt für Schritt

  1. 1
    Studiengang und Frist fixieren

    Abschluss, Studienform und die Frist oben festhalten.

  2. 2
    Unterlagen sammeln

    Hochschulzugangsberechtigung, Lebenslauf und was die Hochschule zusätzlich verlangt, steht unter Zulassung auf dieser Seite.

  3. 3
    Bewerbung einreichen

    Direkt über das Bewerbungsportal der TU Ilmenau, vor der Frist.

  4. 4
    Bescheid abwarten

    Bei zulassungsfreien Studiengängen folgt die Zusage nach Formalprüfung; bei NC-Verfahren nach dem Vergabelauf.

  5. 5
    Einschreiben

    Mit der Einschreibung ist dein Studienplatz verbindlich; danach kommt der Studierendenausweis.

Kosten & Finanzierung

Was ein Jahr kostetDetails bei TU Ilmenau →
Lebenshaltungrund 992 € im Monat

Die Hochschule ist der kleinere Posten. Miete, Essen und Mobilität entscheiden über dein Budget; die 11.904 € im Jahr sind der Ansatz des Bundes für ein Studienjahr.

Die vier Säulen

So kannst du dein Studium finanzieren

Vier Quellen, eine Reihenfolge: erst Geld, das du nicht zurückzahlst, dann selbst verdientes, der Kredit zuletzt.

Günstigstes zuerst ↓
Halb geschenkt

BAföG zuerst

Zur Hälfte Zuschuss, zur Hälfte zinsloses Darlehen – günstiger wird Studienfinanzierung nicht. Anspruch hängt vom Einkommen der Familie ab.

BAföG berechnen →
Geschenkt, mit Bewerbung

Stipendien suchen

Deutschlandstipendium, Begabtenförderungswerke und Stiftungen – Geld, das du nicht zurückzahlst, und oft weniger Konkurrenz als gedacht.

→
Selbst verdient

Werkstudentenjob

Ein Werkstudentenjob im Feld bringt Geld und Praxis – in Ilmenau und bundesweit. Die Stellen aus der StudySmarter Jobbörse stehen weiter unten auf dieser Seite.

Stellen ansehen →
Kostet Zinsen

Studienkredit nur für die Lücke

Wenn Förderung, Stipendium und Job nicht reichen: Zinssatz, Auszahlungsplan und Rückzahlungsbeginn vergleichen, bevor du unterschreibst.

Studiengang-Details

Zeitmodelle, Studienorte und Praxisbezug, wie die Hochschule sie angibt.

Studienorte
Ilmenau
Flexibilität & Praxis
  • Two clean rooms at the Center for Micro- and Nanotechnologies
  • International environment
  • Small exercise groups
  • Practical content in courses
  • Research collaborations with companies such as Bosch, Airbus, Infineon and X-Fab
  • Individual elective modules may also be offered in German

Deine StudySmarter Jobgarantie

StudySmarter garantiert dir einen Job innerhalb von 6 Monaten nach dem Abschluss oder zahlt dein Coaching, wenn du dich über StudySmarter einschreibst.

StudySmarter Jobgarantie 6 Monate

Findest du innerhalb von 6 Monaten nach deinem Abschluss keinen Job, übernehmen wir dein professionelles Jobcoaching – so lange, bis du einen hast.

Gilt ab dem Tag deines Studienabschlusses.
So sicherst du sie dir
  • Finde & wähle deinen Studiengang über StudySmarter und das StudyKit
  • Schreib dich darüber an deiner Uni ein und schließe erfolgreich ab
  • Bewirb dich über die StudySmarter Jobbörse und CareerKit für deinen ersten Job nach dem Studium
Alle Bedingungen findest du in den Teilnahmebedingungen.
Ohne Zusatzkosten Automatisch dabei. Mit deiner Einschreibung über StudySmarter ist die StudySmarter Jobgarantie inklusive. Infomaterial anfordern

Es gelten die Teilnahmebedingungen. Details und Bedingungen erhältst du mit dem Infomaterial.

Karriere & Gehalt

Der Weg vom Berufseinstieg bis zur Führungsposition in der Mikro- und Nanotechnologie verläuft meist über zunehmend komplexe technische und organisatorische Verantwortung.

  1. Prozess- oder Applikationsingenieur:inEinstieg in Fertigungs- oder Entwicklungsteams der Halbleiter- und Sensorikbranche · 0 bis 3 Jahre
  2. Entwicklungsingenieur:in MikrosystemtechnikEigenständige Projektverantwortung bei Bauelemente- oder Prozessentwicklung · 3 bis 6 Jahre
  3. Teamleitung F&EKoordination technischer Teams und Schnittstelle zu Produktion und Forschung · 6 bis 10 Jahre
  4. Leitung Technologie oder ForschungStrategische Verantwortung für Technologieentwicklung oder Forschungsbereiche · ab 10 Jahren

Gehaltsspanne nach Karrierephase

Branchenweite Marktorientierung für Micro- and Nanotechnologies-Profile (brutto pro Jahr), kein hochschulspezifischer Wert. Tatsächliche Gehälter hängen von Branche, Region und Erfahrung ab.

Nach dem Abschluss

Dein Gehaltspfad, der Arbeitsmarkt und Berufsrichtungen für Micro- and Nanotechnologies.

Absolvent:innen starten u. a. bei Siemens, Bosch und SAP.Alle Stellen in der Jobbörse ansehen →

Arbeitsmarkt & Zukunft

Die Nachfrage nach Fachkräften in Mikro- und Nanotechnologie hängt eng mit der fortschreitenden Miniaturisierung in Elektronik, Sensorik und Medizintechnik zusammen.

KI nimmt dir ab

Routinearbeit, die Software heute schon übernimmt

  • Automatisierte Steuerung und Überwachung von Fertigungsprozessen im Reinraum
  • Datenauswertung bei Messreihen und Qualitätskontrolle mittels Mustererkennung
  • Simulationsgestützte Optimierung von Prozessparametern
  • Routinemäßige Dokumentation und Reporting von Prozessdaten

Menschlich gefragter denn je

Wofür der Abschluss dich ausbildet

  • Konzeption neuer Bauelemente und Fertigungsverfahren
  • Fehleranalyse bei unerwarteten Prozessabweichungen
  • Interdisziplinäre Abstimmung zwischen Materialwissenschaft, Elektronik und Fertigung
  • Bewertung neuer Technologien hinsichtlich Machbarkeit und Anwendung

Kenntnisse aus Semiconductor devices 1 und Electronics Technology 1 bilden die fachliche Grundlage für den späteren Einstieg in Halbleiter- oder Sensorikentwicklung.

Sehen, was der Markt konkret sucht: aktuelle Jobs und Werkstudentenstellen im Berufsfeld.

Passende Jobs ansehen

Arbeiten neben dem Studium

Vom Werkstudentenjob bis zur ersten Stelle: diese Ausschreibungen passen zu deinem Fach.

Live aus der Jobbörse

Die Hochschule im Profil

Technische Universität Ilmenau Logo

Technische Universität Ilmenau

Staatliche HochschuleVollzeitstudiumIlmenaugegründet 1894

Mit rund 4.500 Studierenden gehört die Technische Universität Ilmenau zu den kleineren Hochschulen des Landes – der Frauenanteil liegt bei 29 %, 44 % kommen aus dem Ausland. Die Studierendenzahl ist seit 2019 um 18 % gesunken.

Studium

103Studiengänge
92 %bestandene Prüfungen

Menschen

4.452Studierende
29 %Frauenanteil
44 %Internationale

Chancen

482Erstsemester pro Jahr
8Erasmus-Partner

Studentenleben & Studierende

Insgesamt 4.452 Studierende an der Hochschule.

Stell dir 100 Studierende vor

Wer sitzt neben dir?

29 von 100

sind Frauen

Frauenanteil an der Technische Universität Ilmenau

Was Studierende sagen

Das wird gelobt
  • Enger Bezug zwischen Lehre und aktueller Forschung in Mikrosystemtechnik
  • Praxisnahe Labor- und Reinraumarbeit als fester Studienbestandteil
  • Internationale Ausrichtung mit englischsprachigen Modulen
Worauf du achten solltest

Wer sich für diesen Studiengang entscheidet, sollte solide Grundlagen in Physik und Elektrotechnik mitbringen, da die Inhalte technisch anspruchsvoll und stark forschungsorientiert sind – ohne entsprechendes Interesse an experimentellem Arbeiten kann das Studium schnell überfordern.

Passt Micro- and Nanotechnologies zu dir?

Das solltest du mitbringen

  • Du interessierst dich für Halbleitertechnologie und die Fertigung von Bauelementen im Nanomaßstab.
  • Du bringst einen technischen oder naturwissenschaftlichen Bachelorabschluss mit solider Physik- und Elektrotechnik-Basis mit.
  • Du arbeitest gerne praktisch im Labor oder Reinraum und experimentierst mit Mess- und Fertigungstechnik.
  • Du fühlst dich in einem international und englischsprachig geprägten Studienumfeld wohl.
  • Du kannst dir eine Laufbahn in Forschung, Entwicklung oder der Halbleiterindustrie vorstellen.

Wer mit Physik und Elektrotechnik eher fremdelt, wird die technische Tiefe des Studiengangs als Hürde erleben.

For international students

Studying Micro- and Nanotechnologies at TU Ilmenau from abroad

What the university publishes decides your application. Residence and financing rules come from the federal portal, in English.

Admission
EnglishLanguage of instruction
Cost
11.904 €Blocked-account proof of funds (2026), if you need a visa
Work & stay
140 / 280Full / half working days per year alongside study
18 monthsResidence permit to find a job after graduating

Every figure is published data for this program, this university, or a federal value that applies nationwide.

From choice to enrollment

Five steps in the right order

  1. 1
    Check the programCompare degree, language of instruction, deadlines and entry requirements, all published on this page.
  2. 2
    Clarify admissionCheck that your school-leaving certificate is recognised and which language or subject certificates the university asks for.
  3. 3
    Submit your applicationUse the application route TU Ilmenau publishes. Keep the deadline for your intake in view early.
  4. 4
    Prepare your financingKeep study costs and living costs separate. If you need a visa, a blocked account is usually part of the proof.
  5. 5
    Plan entry and arrivalVisa, health insurance, housing and enrollment, organised well before the semester starts.

Federal values: Make it in Germany (federal government portal), as of 2026. Whether you need a visa and which proofs apply depends on your nationality and situation. After graduation you can stay for 18 months to look for a qualified job.

Your first-year budget
Proof of funds11.904 € for the first yearrequired for the visa – roughly 992 € per month

The proof of funds is not a price. It shows you can cover your living costs – the money pays for your life in Germany, not the university.

Language of instructionEnglishLanguage certificate required – the university names the level
Working while studying140 daysfull days per year, or 280 half days
Staying after graduation18 monthsresidence permit to look for a job in Germany
International campus44 %international students at this university
Plan your first yearRent, semester fee and everyday costs for your city – turn 992 € a month into a real plan.
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Bewerbung & Fristen

Fristen und Zulassung direkt von den offiziellen Seiten der Hochschule.

Bewerbungsfristen
FristApplications for the 2027/28 winter semester will be accepted via uniassist starting January 16, 2027
Zulassung & Voraussetzungen
Zulassung
NC-free
Voraussetzung
Bachelor's degree in a similar field
Studienstart
October 1

Quelle: offizielle Seiten der Hochschule.

Häufige Fragen

Ist der Studiengang Micro- and Nanotechnologies an der TU Ilmenau zulassungsbeschränkt?

Nein, die Zulassung erfolgt zulassungsfrei. Wichtiger als ein bestimmter Notenschnitt ist fachliches Vorwissen aus einem technischen oder naturwissenschaftlichen Bachelorstudium.

In welcher Sprache wird der Studiengang unterrichtet?

Der Studiengang ist international ausgerichtet und wird überwiegend in englischer Sprache angeboten, was ihn auch für internationale Studierende attraktiv macht.

Welche Vorkenntnisse sollte ich für Semiconductor devices 1 mitbringen?

Grundlagenkenntnisse in Physik und Elektrotechnik aus dem Bachelorstudium erleichtern den Einstieg in die Module zu Halbleiterbauelementen und Elektroniktechnologie deutlich.

Welche beruflichen Perspektiven eröffnet der Abschluss?

Absolvent:innen finden Anknüpfungspunkte in der Halbleiter- und Sensorikindustrie, in der angewandten Forschung oder im Rahmen einer Promotion an Forschungseinrichtungen.

Kostenlos & unverbindlich

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Redaktionell moderiert

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