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Lerne jetzt mit Karteikarten und Zusammenfassungen für den Kurs Nano an der TU München.

Beispielhafte Karteikarten für Nano an der TU München auf StudySmarter:

Crucial Limitations in Lithography

Beispielhafte Karteikarten für Nano an der TU München auf StudySmarter:

How can you prevent stamp damage while using NIL?

Beispielhafte Karteikarten für Nano an der TU München auf StudySmarter:

Film or Nanostructure Formation on Substrate: What are the typical processes in Thin film or Nanostructure Growth?

Beispielhafte Karteikarten für Nano an der TU München auf StudySmarter:

Homo- and Heteroepitaxial crystallization phonomena (2x):

Beispielhafte Karteikarten für Nano an der TU München auf StudySmarter:

Name 3 important factors leading to RIE!

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What is RIE?

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Goals of MOVPE:

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What defines a good vacuum?

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Physics of Epitaxy of Nanostructures (3x):

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In situ (lokale) analytical Methods:

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vocab: dose

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Nanofabrication by Replication

Kommilitonen im Kurs Nano an der TU München. erstellen und teilen Zusammenfassungen, Karteikarten, Lernpläne und andere Lernmaterialien mit der intelligenten StudySmarter Lernapp. Jetzt mitmachen!

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Beispielhafte Karteikarten für Nano an der TU München auf StudySmarter:

Nano

Crucial Limitations in Lithography
– Lithography mainly governed by scaling rules for Si-MOSFET devices (Moore’s Law)
– BUT: new high-speed electronic, optoelectronic, spintronic, etc. devices not easily accessible by further downscaling of available Si devices
– Lithography-based nanostructures heavily plagued (geplagt) by damage in pattern transfer from exposed resist to substrate (etching: ion-assisted RIE, ICP, ion milling, …)

Nano

How can you prevent stamp damage while using NIL?
Imprint depth has to be slightly less than polymer thickness.

Nano

Film or Nanostructure Formation on Substrate: What are the typical processes in Thin film or Nanostructure Growth?
Two categories: physical and chemical mass transport from source to substrate
physical: thermal energy, vapor beams
chemical: Gaseous species undergo chemical reactions at substrate (thermal dissociation)

Nano

Homo- and Heteroepitaxial crystallization phonomena (2x):
1. Nucleation and Epitaxy
2. Atomistic and Thermodynamic Aspects

Nano

Name 3 important factors leading to RIE!
– energized ions (physical, anisotropic)
– reactive gas (chemical, isotropic)
– formation of volatile compounds

Nano

What is RIE?
Reactive Ion Etching

Nano

Goals of MOVPE:
homogeneity, thickness and carrier profile across substrate
HOWEVER, reaction chemistry largely unknown

Nano

What defines a good vacuum?
– mean free path L of atoms/molecules –> collision-free beam supply
– concentration n of atoms/molecules –> clean epilayer

Nano

Physics of Epitaxy of Nanostructures (3x):
– Self-Organization Phenomena
– Lateral and Vertical Arrangement of Quantum dots
– Nanowires

Nano

In situ (lokale) analytical Methods:
– Mass spectrometry (Mass Transport)
– Surface analysis (Diffraction: RHEED, Optical Reflectance: Ellipsometry, …)

Nano

vocab: dose
amount of ionizing radiation absorbed

Nano

Nanofabrication by Replication
Nanoimprint lithography (NIL)

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