an der TU Ilmenau | Karteikarten & Zusammenfassungen

Karteikarten und Zusammenfassungen für Mikrotechnologie 2 an der TU Ilmenau

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Was ist eine Opferschicht?

Schichtsystem, das einzig der Fertigung dient. Diese Schicht wird im Verlauf der Fertigung entfernt.

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Was ist bei dem Auslesen eines Biegebalken zu beachten?

Das Auslesen des Deformationszustandes darf die Deformation nicht beeinflussen!

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Was sind die Vor und Nachteile beim optischen auswerten eines Biegebalkens?

Vorteile:

einfache Biegebalken ausreichend
berührungsfrei und genau

Nachteile:

große optische Wegstrecken erforderlich
Mit der zugehörigen Elektronik schwer zu miniaturisieren

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Was ist der Piezoelektrische Effekt?

Materialdeformation erzeugt eine Polarisation

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Welche Vorteile haben Piezoelektrische Sensoren?

Vorteil:

Self-Sensing ohne zusätzliche Spannung

Nachteile:

mikrotechnologische Herstellung und verarbeitung herausfordernd
primär für AC-Messungen geeignet

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Was ist der Piezoresistive effekt?

Dehnung eines Leiters führt zu einer Widerstandsänderung

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Welche Vorteile hat es mit dem Piezoresistiveneffekt Dehnung zu messen?

Vorteile:

Widerstandsmessung leicht durchführbar
intrinsisch von Umwelteinflüssen geschützt
leicht mikrotechnologisch herstellbar

Nachteile:

hoher Leistungsverbrauch
Signale unterliegen Rauschen und großen Temperatureinfluss

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Welche Materialien werden neben Si in der Mikrosystemtechnik verwendet?

Glass,Glasskeramiken, Keramiken,Polymere

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Wofür steht OFAT?

One factor at a time

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Wofür steht DOE?

Desing of experiments

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Welche Nachteile hat OFAT?

Zusammenhänge zwischen Faktoren können nicht untersucht werden
Falsche Optimierung und annahmen folgen

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Wofür steht SiCer?

Silicon on Ceramics

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