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Lernmaterialien für MST an der TU Darmstadt

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TESTE DEIN WISSEN
Welche Kristallgitterstruktur besitzt Si?
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TESTE DEIN WISSEN
Kubisch flächenzentriert
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TESTE DEIN WISSEN
Wie sind die Winkel den die {100} - und {110} - mit den {111}-Ebenen bilden und wieso ist letztere wichtig?
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TESTE DEIN WISSEN
{100}: 54,74° {111}: 35,26° oder 90° {111}-Ebenen haben aufgrund von wenig außenliegenden Atomen und vielen Verbindungen nach innen eine sehr geringe Ätzrate.
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TESTE DEIN WISSEN
Was ist das besondere an (110)-Wafern?
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TESTE DEIN WISSEN
Aufgrund des Winkels von 90° zwischen ihnen und der (111) Ebene erlauben sie anisotropes Ätzen von Gräben (mit Einschränkungen)
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TESTE DEIN WISSEN
Vereinfachungen des Hookschen Gesetz im Kristall
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TESTE DEIN WISSEN
c11=c22=c33 c12=c21=c23=c32=c13=c31 c44=c55=c66 Gleiches gilt für s_ij (Rest 0)
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TESTE DEIN WISSEN
Was ist der piezoelektrische Effekt?
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TESTE DEIN WISSEN
Mecha nische Deformation führt zu einem elektr. Feld(inverser piezoelektr. Effekt umgekehrt)
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TESTE DEIN WISSEN
Welche Verfahren zur Schichtabscheidung existieren für welche Materialien?
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TESTE DEIN WISSEN
PVD: Metalle, Dielektrika CVD: polykristalline Schichten, amorphe Schichten Epitaxie: monokristalline Schichtabscheidung Elektrolytische Schichtabscheidung Galvanische Beschichtung: Metalle
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TESTE DEIN WISSEN
Welche 4 Eigenschaften des Siliziums haben es zum meistbenutzten Substratmaterial in der Mikrosystemtechnik gemacht? Geben Sie zu jeder Eigenschaft den relavanten Materialkennwert (Zahl + Einheit) an.
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TESTE DEIN WISSEN
-leicht wie Aluminium (ρ =2,3 g/cm^3) -federnd und hart (E-Modul) wie Stahl (E-Modul : 170 GPa) -geringe thermische Ausdehnung wie Glas (α = 2,33 * 10^(-6) /K -sehr gute Wärmeleitung fast wie Aluminium (λ = 157 W/mK)
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Welche Kristallstruktur weisen Keramiken auf?
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TESTE DEIN WISSEN
polykristallin
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TESTE DEIN WISSEN
Nennen und beschreiben sie die drei Kategorien von Polymeren hinsichtlich Vernetzung der Moleküle und der daraus resultierenden Eigenschaften
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TESTE DEIN WISSEN
-Thermoplaste: nicht vernetzte Kettenmoleküle -> nahezu beliebig oft aufschmelzbar -Elastomere: lose Vernetzung -> dauerelastisch, nicht schmelzbar -Duroplaste: vernetzte Kettenmoleküle -> nicht schmelzbar, hart, spröde
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TESTE DEIN WISSEN
Nenne 4 wichtige Konstruktionswerkstoffe in der Mikrosystemtechnik
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TESTE DEIN WISSEN
-Silizium -Glas -Polymere -Keramik
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TESTE DEIN WISSEN
Wie viele Bindungen kann ein Silizium-Atom eingehen?
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TESTE DEIN WISSEN
4 Bindungen (4. Hauptgruppe wie Kohlenstoff)
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TESTE DEIN WISSEN
Wie wird die Fertigung vieler Einzelbauteile auf einem Wafer genannt?
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TESTE DEIN WISSEN
Batchfertigung
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Beispielhafte Karteikarten für deinen MST Kurs an der TU Darmstadt - von Kommilitonen auf StudySmarter erstellt!

Q:
Welche Kristallgitterstruktur besitzt Si?
A:
Kubisch flächenzentriert
Q:
Wie sind die Winkel den die {100} - und {110} - mit den {111}-Ebenen bilden und wieso ist letztere wichtig?
A:
{100}: 54,74° {111}: 35,26° oder 90° {111}-Ebenen haben aufgrund von wenig außenliegenden Atomen und vielen Verbindungen nach innen eine sehr geringe Ätzrate.
Q:
Was ist das besondere an (110)-Wafern?
A:
Aufgrund des Winkels von 90° zwischen ihnen und der (111) Ebene erlauben sie anisotropes Ätzen von Gräben (mit Einschränkungen)
Q:
Vereinfachungen des Hookschen Gesetz im Kristall
A:
c11=c22=c33 c12=c21=c23=c32=c13=c31 c44=c55=c66 Gleiches gilt für s_ij (Rest 0)
Q:
Was ist der piezoelektrische Effekt?
A:
Mecha nische Deformation führt zu einem elektr. Feld(inverser piezoelektr. Effekt umgekehrt)
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Q:
Welche Verfahren zur Schichtabscheidung existieren für welche Materialien?
A:
PVD: Metalle, Dielektrika CVD: polykristalline Schichten, amorphe Schichten Epitaxie: monokristalline Schichtabscheidung Elektrolytische Schichtabscheidung Galvanische Beschichtung: Metalle
Q:
Welche 4 Eigenschaften des Siliziums haben es zum meistbenutzten Substratmaterial in der Mikrosystemtechnik gemacht? Geben Sie zu jeder Eigenschaft den relavanten Materialkennwert (Zahl + Einheit) an.
A:
-leicht wie Aluminium (ρ =2,3 g/cm^3) -federnd und hart (E-Modul) wie Stahl (E-Modul : 170 GPa) -geringe thermische Ausdehnung wie Glas (α = 2,33 * 10^(-6) /K -sehr gute Wärmeleitung fast wie Aluminium (λ = 157 W/mK)
Q:
Welche Kristallstruktur weisen Keramiken auf?
A:
polykristallin
Q:
Nennen und beschreiben sie die drei Kategorien von Polymeren hinsichtlich Vernetzung der Moleküle und der daraus resultierenden Eigenschaften
A:
-Thermoplaste: nicht vernetzte Kettenmoleküle -> nahezu beliebig oft aufschmelzbar -Elastomere: lose Vernetzung -> dauerelastisch, nicht schmelzbar -Duroplaste: vernetzte Kettenmoleküle -> nicht schmelzbar, hart, spröde
Q:
Nenne 4 wichtige Konstruktionswerkstoffe in der Mikrosystemtechnik
A:
-Silizium -Glas -Polymere -Keramik
Q:
Wie viele Bindungen kann ein Silizium-Atom eingehen?
A:
4 Bindungen (4. Hauptgruppe wie Kohlenstoff)
Q:
Wie wird die Fertigung vieler Einzelbauteile auf einem Wafer genannt?
A:
Batchfertigung
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