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Lernmaterialien für Physical Vapor Deposition an der RWTH Aachen

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TESTE DEIN WISSEN

Nach welcher Art werden PVD Verfahren unterteilt?

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nach Art der Teilchenerzeugung
- Thermisches Verdampfen
- Zerstäuben (Sputtern)

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Wie lauten die 3 Phasen aller PVD
Verfahren?

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  1. Erzeugung einer Gasphase oder eines Plasmas
  2. Teilchentransport
  3. Kondensation + Schichtwachstum
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Wie können innerhalb der PVD Verfahren Teilchen erzeugt werden?  (Hybridverfahren)

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  • IBAD - Ion Beam Assisted Deposition
  • ABS - Arc Bond Sputtering
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Wie hoch wird das Beschichtungsmaterial beim thermischen Verdampfen durch eine Verdampfungsquelle erhitzt?

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TESTE DEIN WISSEN

Das Beschichtungsmaterial wird so hoch erhitzt, bis sich ein ausreichend hoher Dampfdruck gebildet hat und Materialteilchen freigesetzt werden

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TESTE DEIN WISSEN

Wie lautet die Definition der Zerstäubungsausbeute oder
Sputterrate S 0

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Die Zerstäubungsausbeute oder Sputterrate S0 ist ein Maß für die Effektivität des Prozesses: S0 ist das Verhältnis herausschlagender Teilchen zur Anzahl auftreffender Ionen

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Welche zwei Formen von Plasmen gibt es?

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  • Warme Plasmen
  • Kalte Plasmen
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Welche Verfahren sind typisch für die zwei Formen von Plasmen?

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TESTE DEIN WISSEN
  • MSIP - Kalt
  • AIP - Warm
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TESTE DEIN WISSEN

Was sind die Elementarprozesse in einem Plasma?

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TESTE DEIN WISSEN
  • Anregung
  • Elektronenionisation
  • Photoionisation
  • Dissoziation
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TESTE DEIN WISSEN

Was beschreibt der Ionisationsgrad η?

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Der Ionisationsgrad beschreibt den Anteil der Ionen ni an der Gesamtzahl atomarer bzw. molekularer Bestandteile n des Plasmas und ist damit ein Maß für die Effektivität der Ionisationsprozesse im Plasma.

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Welches Verhältnis ist bei den Strukturzonenmodellen maßgebend?

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TESTE DEIN WISSEN

Das Verhältnis der Substrattemperatur Ts zur Schmelztemperatur des Metalls Tm

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TESTE DEIN WISSEN

Welchen Einfluss hat die Mikrostruktur, die im Schichtwachstum entsteht?

Lösung anzeigen
TESTE DEIN WISSEN

Die Mikrostruktur (Morphologie) beeinflusst stark die Funktionellen Eigenschaften des Schicht-Substrat-Verbunds

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TESTE DEIN WISSEN

Was bedeutet PVD?

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  • Physical Vapor Deposition
  • Physikalische Abscheidung aus einer Gasphase bzw. einem Plasma
  • Erzeugung einer Gasphase bzw. eines Plasmas aus einem Feststoff mittels physikalischem Wirkprinzip (Sublimieren, Stoßeffekte, etc.)
  • Schichtbildung durch Kondensation


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  • 5734 Studierende
  • 316 Lernmaterialien

Beispielhafte Karteikarten für deinen Physical Vapor Deposition Kurs an der RWTH Aachen - von Kommilitonen auf StudySmarter erstellt!

Q:

Nach welcher Art werden PVD Verfahren unterteilt?

A:

nach Art der Teilchenerzeugung
- Thermisches Verdampfen
- Zerstäuben (Sputtern)

Q:

Wie lauten die 3 Phasen aller PVD
Verfahren?

A:
  1. Erzeugung einer Gasphase oder eines Plasmas
  2. Teilchentransport
  3. Kondensation + Schichtwachstum
Q:

Wie können innerhalb der PVD Verfahren Teilchen erzeugt werden?  (Hybridverfahren)

A:
  • IBAD - Ion Beam Assisted Deposition
  • ABS - Arc Bond Sputtering
Q:

Wie hoch wird das Beschichtungsmaterial beim thermischen Verdampfen durch eine Verdampfungsquelle erhitzt?

A:

Das Beschichtungsmaterial wird so hoch erhitzt, bis sich ein ausreichend hoher Dampfdruck gebildet hat und Materialteilchen freigesetzt werden

Q:

Wie lautet die Definition der Zerstäubungsausbeute oder
Sputterrate S 0

A:

Die Zerstäubungsausbeute oder Sputterrate S0 ist ein Maß für die Effektivität des Prozesses: S0 ist das Verhältnis herausschlagender Teilchen zur Anzahl auftreffender Ionen

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Q:

Welche zwei Formen von Plasmen gibt es?

A:
  • Warme Plasmen
  • Kalte Plasmen
Q:

Welche Verfahren sind typisch für die zwei Formen von Plasmen?

A:
  • MSIP - Kalt
  • AIP - Warm
Q:

Was sind die Elementarprozesse in einem Plasma?

A:
  • Anregung
  • Elektronenionisation
  • Photoionisation
  • Dissoziation
Q:

Was beschreibt der Ionisationsgrad η?

A:

Der Ionisationsgrad beschreibt den Anteil der Ionen ni an der Gesamtzahl atomarer bzw. molekularer Bestandteile n des Plasmas und ist damit ein Maß für die Effektivität der Ionisationsprozesse im Plasma.

Q:

Welches Verhältnis ist bei den Strukturzonenmodellen maßgebend?

A:

Das Verhältnis der Substrattemperatur Ts zur Schmelztemperatur des Metalls Tm

Q:

Welchen Einfluss hat die Mikrostruktur, die im Schichtwachstum entsteht?

A:

Die Mikrostruktur (Morphologie) beeinflusst stark die Funktionellen Eigenschaften des Schicht-Substrat-Verbunds

Q:

Was bedeutet PVD?

A:
  • Physical Vapor Deposition
  • Physikalische Abscheidung aus einer Gasphase bzw. einem Plasma
  • Erzeugung einer Gasphase bzw. eines Plasmas aus einem Feststoff mittels physikalischem Wirkprinzip (Sublimieren, Stoßeffekte, etc.)
  • Schichtbildung durch Kondensation


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