Einführung in die Mikrosystemtechnik an der RWTH Aachen

Karteikarten und Zusammenfassungen für Einführung in die Mikrosystemtechnik an der RWTH Aachen

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Beispielhafte Karteikarten für Einführung in die Mikrosystemtechnik an der RWTH Aachen auf StudySmarter:

Was ist ein Mikrosystem?

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Respimat Zerstäuber, welche Mikroteile sind drin?

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Schombis Definition von Mirkosystemtechnik

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Beispiele für Mikrosysteme

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Was ist Mikrosystemtechnik?

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Subtraktive Verfahren in der MST

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Additive Verfahren in der MST

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Verfahren mit denen Mikrostrukturen mit einander oder mit der Umwelt verbunden werden

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Grundmaterial der Mikroelektronik

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Wovon hängt die Anordung der Atome auf der Oberfläche eines Silizium Einkristalls ab?

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Was bedeuten die Millerschen Indizes

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Was bedeuten die Klamern bei den Millerschen Indizes?

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Beispielhafte Karteikarten für Einführung in die Mikrosystemtechnik an der RWTH Aachen auf StudySmarter:

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Was ist ein Mikrosystem?

  • Gerät, dessen kleinsten funktionalen Bauteile zwischen 1 µm und 1 mm liegen


  • Verbund von Mikroelektronik mit
    • mikromechanik
    • mikroptik
    • mikrofluidtechnik

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Respimat Zerstäuber, welche Mikroteile sind drin?

  • Mikroventil 
  • Mikrodüse
  • aber keine Elektronik

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Schombis Definition von Mirkosystemtechnik

  • enthält mindestens eine funktionale Komponente, die kleiner als 1 mm ist
  • wird mit mindestens einem Verfahren der Mikrotechnik hergestellt

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Beispiele für Mikrosysteme

  • Mikrofon
  • Spitzen für Atomkraftmikroskope
  • Schreib- und Leseköpfe für Festplatten
  • Mikroschalter
  • Fingerabdrucksensor
  • Drucksensor
  • Flusssensor
  • Mikrowärmetauscher
  • Mikroreaktor
  • Mikromischer
  • Mikrodosierer
  • Düsen für Tintenstrahldrucker

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Was ist Mikrosystemtechnik?

Gesamtheit der Verfahren, mit denen Mikrosysteme hergestellt und betrieben werden

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Subtraktive Verfahren in der MST

  • Ätzen / Auflösen 
  • Fräsen 
  • Erodieren 
  • Ablation

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Additive Verfahren in der MST

  • PVD 
  • CVD 
  • Epitaxie 
  • Spin-coaten 
  • Galvanik 
  • Abformung 
  • Dotierung

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Verfahren mit denen Mikrostrukturen mit einander oder mit der Umwelt verbunden werden

  • Anodisches Bonden 
  • Eutektisches Bonden
  • Kleben 
  • Schweißen 
  • Löten 

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Grundmaterial der Mikroelektronik

Einkristallines Silizium

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Wovon hängt die Anordung der Atome auf der Oberfläche eines Silizium Einkristalls ab?

Schnittrichtung zu Kristallebenen

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Was bedeuten die Millerschen Indizes

Schnittpunkte der Ebene mit den Koordinatenachsen, die parallel zum Gitter verlaufen.

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Was bedeuten die Klamern bei den Millerschen Indizes?

(100) Ebene

[100] Richtung

{100} Ebene (Äquivalenzebene im Gitter)


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