Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie

Karteikarten und Zusammenfassungen für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie

Arrow Arrow

Komplett kostenfrei

studysmarter schule studium
d

4.5 /5

studysmarter schule studium
d

4.8 /5

studysmarter schule studium
d

4.5 /5

studysmarter schule studium
d

4.8 /5

Lerne jetzt mit Karteikarten und Zusammenfassungen für den Kurs Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie.

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Def Nanoaktor

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Nenne min. 3 Beispiele für Top-Down-Verfahren.

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Nenne min. 3 Beispiele für Bottom-Up-Verfahren.

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Nenne den Unterschied zwischen Positiv-Resist und Negativ-Resist + Bsp.

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Was beschreibt der Proximity-Effekt? Wie wird der Proximity-Effekt korrigiert?

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Was ist das Problem beim Nassätzverfahren? Warum können damit keine nm-Strukturen realisiert werden?

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Nach welchen Prinzip funktioniert das RIE?

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Welche Prozessparameter beeinflussen das RIE?

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Was ist der Kryotherapie-Ätzprozess?
(Eig, Idee)

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Was sind die Probleme beim Kryo-Ätzprozess?

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Welcher Ätzprozess muss für Gold verwendet werden und warum?

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Was ist das Problem mit reaktivem Ionenätzen und was ist die Lösung?

Kommilitonen im Kurs Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie. erstellen und teilen Zusammenfassungen, Karteikarten, Lernpläne und andere Lernmaterialien mit der intelligenten StudySmarter Lernapp. Jetzt mitmachen!

Jetzt mitmachen!

Flashcard Flashcard

Beispielhafte Karteikarten für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie auf StudySmarter:

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Def Nanoaktor
funktionsrelevante Strukturen besitzen nm-Abmessungen oder erfordern Nanotechnologien

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nenne min. 3 Beispiele für Top-Down-Verfahren.
  • Nanolithografie
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Lift-Off-Prozess
  • Opferschicht-Verfahren
  • Soft-Lithografie: NIL, SCIL, Dip-Pen-Lithografie

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nenne min. 3 Beispiele für Bottom-Up-Verfahren.
  • Chemische Verfahren
  • Scanning-Probe-Methoden
  • Selbstorganisation

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nenne den Unterschied zwischen Positiv-Resist und Negativ-Resist + Bsp.
Positivresist: belichteter Teil wird gelöst, PMMA

Negativ-Resist: unbelichteter Teil wird gelöst, HSQ (Hydrogen silseqioxane)

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was beschreibt der Proximity-Effekt? Wie wird der Proximity-Effekt korrigiert?
Belichtung außerhalb des Zielbereiches
-> Energieeintrag E(x,y)

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist das Problem beim Nassätzverfahren? Warum können damit keine nm-Strukturen realisiert werden?
isotropes Ätzprofil
-> Isotropes Unterätzen maskierter Gebiete bei Strukturbreiten nahe der Schichtdicke

=> nm-Strukturen brauchen Trockenätzverfahren mit anisotropen Ätzprofil

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nach welchen Prinzip funktioniert das RIE?
Schichtabtrag durch reaktionsfähige Teilchen, elektr. neutrale Radikale oder Ionen

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Welche Prozessparameter beeinflussen das RIE?
  • Gasdruck
  • ICP-Leistung (Plasma)
  • Temperatur

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist der Kryotherapie-Ätzprozess?
(Eig, Idee)
-> TIeftemperatur-Trockenätzprozess für Si-Nanostrukturen mit nahezu vertikalen Seitenwänden und hohen Aspektverhältnis

Idee: Ätzrate abh. von Temperatur
 

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was sind die Probleme beim Kryo-Ätzprozess?
  • Resist wird durch kalte Temperatur beschädigt (Risse)
  • Ätz-Produkte kondensieren auf nächster kalter Oberfläche, wie Substrat oder Elektrode

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Welcher Ätzprozess muss für Gold verwendet werden und warum?
Reaktives Ionenstrahlätzen

weil: Gold geht keine flüchtigen Verbindungen ein

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist das Problem mit reaktivem Ionenätzen und was ist die Lösung?
Resist hat zu geringe Widerstandsfähigkeit im RIBE-Prozess

Lösung: Chrom-Maske, da Maskenlebensdauer mit Härte korreliert

Melde dich jetzt kostenfrei an um alle Karteikarten und Zusammenfassungen für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie zu sehen

Singup Image Singup Image
Wave

Andere Kurse aus deinem Studiengang

Für deinen Studiengang Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie gibt es bereits viele Kurse auf StudySmarter, denen du beitreten kannst. Karteikarten, Zusammenfassungen und vieles mehr warten auf dich.

Zurück zur Karlsruher Institut für Technologie Übersichtsseite

Ober/Grenzflächen-Prozesse

Gefüge-Eigenschafts-Beziehungen

Was ist StudySmarter?

Was ist StudySmarter?

StudySmarter ist eine intelligente Lernapp für Studenten. Mit StudySmarter kannst du dir effizient und spielerisch Karteikarten, Zusammenfassungen, Mind-Maps, Lernpläne und mehr erstellen. Erstelle deine eigenen Karteikarten z.B. für Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik an der Karlsruher Institut für Technologie oder greife auf tausende Lernmaterialien deiner Kommilitonen zu. Egal, ob an deiner Uni oder an anderen Universitäten. Hunderttausende Studierende bereiten sich mit StudySmarter effizient auf ihre Klausuren vor. Erhältlich auf Web, Android & iOS. Komplett kostenfrei. Keine Haken.

Awards

Bestes EdTech Startup in Deutschland

Awards
Awards

European Youth Award in Smart Learning

Awards
Awards

Bestes EdTech Startup in Europa

Awards
Awards

Bestes EdTech Startup in Deutschland

Awards
Awards

European Youth Award in Smart Learning

Awards
Awards

Bestes EdTech Startup in Europa

Awards

So funktioniert's

Top-Image

Individueller Lernplan

StudySmarter erstellt dir einen individuellen Lernplan, abgestimmt auf deinen Lerntyp.

Top-Image

Erstelle Karteikarten

Erstelle dir Karteikarten mit Hilfe der Screenshot-, und Markierfunktion, direkt aus deinen Inhalten.

Top-Image

Erstelle Zusammenfassungen

Markiere die wichtigsten Passagen in deinen Dokumenten und bekomme deine Zusammenfassung.

Top-Image

Lerne alleine oder im Team

StudySmarter findet deine Lerngruppe automatisch. Teile deine Lerninhalte mit Freunden und erhalte Antworten auf deine Fragen.

Top-Image

Statistiken und Feedback

Behalte immer den Überblick über deinen Lernfortschritt. StudySmarter führt dich zur Traumnote.

1

Lernplan

2

Karteikarten

3

Zusammenfassungen

4

Teamwork

5

Feedback