Mikro-/Nanotechnologie an der Hochschule Hamm-Lippstadt

Auflösung, Vergrößerung, Kontrast

vergrößert, umgekehrt, virtuell

Auflösung wird erhöht

Schärfentiefe wird geringer

Kontrasteindruck wird schlechter

Bildhelligkeit wird erhöht

Räumlioches Sehen

großer Arbietsabstand

große Schärfentiefe

Stereoskopie: Technik zur Erzeugung eines Raumeindruckes

• Objekt im Raum wird von beiden Augen unter verschiedenen Winkeln betrachtet 

• unterschiedliche Bilder des Objektes in beiden Augen Beim stereoskopischen Sehen wird dem linken und rechten Auge je ein Halbbild angeboten 

• größerer Augenabstand oder geringere Entfernung zum Objekt 

größerer Winkel 

größere Unterschiede zwischen den Bildern 

• räumlicher Eindruck im Gehirn

• 2 getrennt verlaufende Strahlengänge, im Stereowinkel (11-16°)

• jeder Strahlengang ist eigenes mikroskopisches Teilsystem 

 grundsätzlich aufrechte Bauweise

 • Auflichtbeleuchtung: Probe mit Punktstrahlern von oben oder von der Seite beleuchtet 

• Durchlichtoption: Beleuchtungsmöglichkeit von unten 

• Objekte lassen sich dreidimensional betrachten  3D- Darstellung feiner Oberflächenstrukturen 

• Vergrößerung < 200x

• Zwei getrennte Einzelmikroskope – um den Stereowinkel (11 bis 16 Grad) gegeneinander geneigt 

• Achsen der optischen Systeme stehen nicht senkrecht auf dem Objekt 

Vorteile: Abbildungsqualität 

– Optik wird im Zentrum genutzt 

– Vorsatzoptik variiert Vergrößerungsbereich und Arbeitsabstände kompakte preiswerte Bauweise 

Nachteil: Modularität 

– eingeschränkt durch Kompaktbauweise

• Zwei mikroskopische Teilsysteme parallel

 • gemeinsames Hauptobjektiv 

• außeraxiale Strahlenpaare erzeugen Stereowinkel Teilsystem 

• Achse des Objektivs steht senkrecht auf dem Objekt 

Vorteil: modularer Aufbau – paralleler Strahlengang unter- und oberhalb des Vergrößerungswechslers gestattet Einrichtung von Schnittstellen 

Nachteil: Abbildungsqualität – Hauptobjektiv nur in Randbereichen genutzt – hochwertige Objektive kompensieren den Effekt, aber teuer

· Magnetische Linsen bestehend aus stromdurchflossenen Spulen 

· Bündelung und Fokussierung des Elektronenstrahls durch elektrische und magnetische Felder

● kleinere Elektronenwolke -> feinerer Elektronenstrahl 

● längere Lebensdauer

● kein perfektes Vakuum 

● Gebäudeschwingungen 

● Fertigungsfehler/-toleranzen

● Elektronenstrahldurchmesser 

● Schärfentiefe 

● Beschleunigungsspannung 

● Vergrößerung 

● Arbeitsabstand

 ● Blendendurchmesser 

● Vibrationen (Gerät / Gebäude)

 ● Elektrische und magnetische Felder

 ● Artefakte :○ Aufladungen ○ Kontamination ○ Strahlenschäden ○ Bildartefakte