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Wie wird die Fertigung vieler Einzelbauteile auf einem Wafer genannt?

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Welche Kristallgitterstruktur besitzt Si?

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Wie sind die Winkel den die {100} - und {110} - mit den {111}-Ebenen bilden und wieso ist letztere wichtig?
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Was ist das besondere an (110)-Wafern?

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Vereinfachungen des Hookschen Gesetz im Kristall

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Was ist der piezoelektrische Effekt?

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Welche Verfahren zur Schichtabscheidung existieren für welche Materialien?
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Welche 4 Eigenschaften des Siliziums haben es zum meistbenutzten Substratmaterial in der Mikrosystemtechnik gemacht? Geben Sie zu jeder Eigenschaft den relavanten Materialkennwert (Zahl + Einheit) an.

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Welche Kristallstruktur weisen Keramiken auf?

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Nennen und beschreiben sie die drei Kategorien von Polymeren hinsichtlich Vernetzung der Moleküle und der daraus resultierenden Eigenschaften

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Nenne 4 wichtige Konstruktionswerkstoffe in der Mikrosystemtechnik
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MST

Wie wird die Fertigung vieler Einzelbauteile auf einem Wafer genannt?
Batchfertigung

MST

Welche Kristallgitterstruktur besitzt Si?
Kubisch flächenzentriert

MST

Wie sind die Winkel den die {100} - und {110} - mit den {111}-Ebenen bilden und wieso ist letztere wichtig?
{100}: 54,74° {111}: 35,26° oder 90° {111}-Ebenen haben aufgrund von wenig außenliegenden Atomen und vielen Verbindungen nach innen eine sehr geringe Ätzrate.

MST

Was ist das besondere an (110)-Wafern?
Aufgrund des Winkels von 90° zwischen ihnen und der (111) Ebene erlauben sie anisotropes Ätzen von Gräben (mit Einschränkungen)

MST

Vereinfachungen des Hookschen Gesetz im Kristall
c11=c22=c33 c12=c21=c23=c32=c13=c31 c44=c55=c66 Gleiches gilt für s_ij (Rest 0)

MST

Was ist der piezoelektrische Effekt?
Mecha nische Deformation führt zu einem elektr. Feld(inverser piezoelektr. Effekt umgekehrt)

MST

Welche Verfahren zur Schichtabscheidung existieren für welche Materialien?
PVD: Metalle, Dielektrika CVD: polykristalline Schichten, amorphe Schichten Epitaxie: monokristalline Schichtabscheidung Elektrolytische Schichtabscheidung Galvanische Beschichtung: Metalle

MST

Welche 4 Eigenschaften des Siliziums haben es zum meistbenutzten Substratmaterial in der Mikrosystemtechnik gemacht? Geben Sie zu jeder Eigenschaft den relavanten Materialkennwert (Zahl + Einheit) an.
-leicht wie Aluminium (ρ =2,3 g/cm^3) -federnd und hart (E-Modul) wie Stahl (E-Modul : 170 GPa) -geringe thermische Ausdehnung wie Glas (α = 2,33 * 10^(-6) /K -sehr gute Wärmeleitung fast wie Aluminium (λ = 157 W/mK)

MST

Welche Kristallstruktur weisen Keramiken auf?
polykristallin

MST

Nennen und beschreiben sie die drei Kategorien von Polymeren hinsichtlich Vernetzung der Moleküle und der daraus resultierenden Eigenschaften
-Thermoplaste: nicht vernetzte Kettenmoleküle -> nahezu beliebig oft aufschmelzbar -Elastomere: lose Vernetzung -> dauerelastisch, nicht schmelzbar -Duroplaste: vernetzte Kettenmoleküle -> nicht schmelzbar, hart, spröde

MST

Nenne 4 wichtige Konstruktionswerkstoffe in der Mikrosystemtechnik
-Silizium -Glas -Polymere -Keramik

MST

Wie viele Bindungen kann ein Silizium-Atom eingehen?
4 Bindungen (4. Hauptgruppe wie Kohlenstoff)

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