Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik at Karlsruher Institut für Technologie

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Was fällt unter die Soft-Lithographie?

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Wann wird das Opferschichtverfahren angewendet?

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Was ist ein Sensor?

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Was ist das Problem mit reaktivem Ionenätzen und was ist die Lösung?

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Welcher Ätzprozess muss für Gold verwendet werden und warum?

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Was sind die Probleme beim Kryo-Ätzprozess?

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Was ist der Kryotherapie-Ätzprozess?
(Eig, Idee)

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Welche Prozessparameter beeinflussen das RIE?

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Nach welchen Prinzip funktioniert das RIE?

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Was ist das Problem beim Nassätzverfahren? Warum können damit keine nm-Strukturen realisiert werden?

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Was beschreibt der Proximity-Effekt? Wie wird der Proximity-Effekt korrigiert?

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Nenne den Unterschied zwischen Positiv-Resist und Negativ-Resist + Bsp.

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Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was fällt unter die Soft-Lithographie?

Drucken

Abformen

Prägen

Dip-Pen-Lithographie

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Wann wird das Opferschichtverfahren angewendet?

für die Erzeugung freistehender / beweglicher Nanostrukturen

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist ein Sensor?

Messen von etwas

Teil eines Gesamtsystems

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist das Problem mit reaktivem Ionenätzen und was ist die Lösung?

Resist hat zu geringe Widerstandsfähigkeit im RIBE-Prozess

Lösung: Chrom-Maske, da Maskenlebensdauer mit Härte korreliert

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Welcher Ätzprozess muss für Gold verwendet werden und warum?

Reaktives Ionenstrahlätzen

weil: Gold geht keine flüchtigen Verbindungen ein

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was sind die Probleme beim Kryo-Ätzprozess?
  • Resist wird durch kalte Temperatur beschädigt (Risse)
  • Ätz-Produkte kondensieren auf nächster kalter Oberfläche, wie Substrat oder Elektrode

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist der Kryotherapie-Ätzprozess?
(Eig, Idee)

-> TIeftemperatur-Trockenätzprozess für Si-Nanostrukturen mit nahezu vertikalen Seitenwänden und hohen Aspektverhältnis

Idee: Ätzrate abh. von Temperatur
 

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Welche Prozessparameter beeinflussen das RIE?
  • Gasdruck
  • ICP-Leistung (Plasma)
  • Temperatur

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nach welchen Prinzip funktioniert das RIE?

Schichtabtrag durch reaktionsfähige Teilchen, elektr. neutrale Radikale oder Ionen

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was ist das Problem beim Nassätzverfahren? Warum können damit keine nm-Strukturen realisiert werden?
isotropes Ätzprofil

-> Isotropes Unterätzen maskierter Gebiete bei Strukturbreiten nahe der Schichtdicke

=> nm-Strukturen brauchen Trockenätzverfahren mit anisotropen Ätzprofil

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Was beschreibt der Proximity-Effekt? Wie wird der Proximity-Effekt korrigiert?
Belichtung außerhalb des Zielbereiches
-> Energieeintrag E(x,y)

Aktoren und Sensoren in der Nanotechnik

Nenne den Unterschied zwischen Positiv-Resist und Negativ-Resist + Bsp.

Positivresist: belichteter Teil wird gelöst, PMMA

Negativ-Resist: unbelichteter Teil wird gelöst, HSQ (Hydrogen silseqioxane)

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