Mikro-/Nanotechnologie at Hochschule Hamm-Lippstadt

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Nennen Sie 5 Punkte welche die REM Bildqualität beeinflussen?

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Welche Punkte gehören zu den Kernpunkten der Mikroskopie?

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Welche Eigenschaften hat das erzeugte Bild, nachdem es Objektiv und Okular passiert hat?

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Vorteile Stereomikroskopie

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Räumliches Sehen Stereomikroskopie

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Stereomikroskopie

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Stereomikroskopie Greenough-Prinzip

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Stereomikroskope Teleskop-Prinzip

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Wodurch unterscheidet sich das Linsensystem im REM mit dem in einem Lichtmikroskop?

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Was ist der Vorteil einer Lanthanhexaborid Glühkathode gegenüber einer Wolframdraht Glühkathode?

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Warum kann die theoretische Auflösungsgrenze im REM nicht erreicht werden?

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Welche für Effekte bewirkt der In-Lens SE-Detektor?

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Exemplary flashcards for Mikro-/Nanotechnologie at the Hochschule Hamm-Lippstadt on StudySmarter:

Mikro-/Nanotechnologie

Nennen Sie 5 Punkte welche die REM Bildqualität beeinflussen?

● Elektronenstrahldurchmesser 

● Schärfentiefe 

● Beschleunigungsspannung 

● Vergrößerung 

● Arbeitsabstand

 ● Blendendurchmesser 

● Vibrationen (Gerät / Gebäude)

 ● Elektrische und magnetische Felder

 ● Artefakte :○ Aufladungen ○ Kontamination ○ Strahlenschäden ○ Bildartefakte

Mikro-/Nanotechnologie

Welche Punkte gehören zu den Kernpunkten der Mikroskopie?

Auflösung, Vergrößerung, Kontrast

Mikro-/Nanotechnologie

Welche Eigenschaften hat das erzeugte Bild, nachdem es Objektiv und Okular passiert hat?

vergrößert, umgekehrt, virtuell


Mikro-/Nanotechnologie

Vorteile Stereomikroskopie

Räumlioches Sehen

großer Arbietsabstand

große Schärfentiefe

Mikro-/Nanotechnologie

Räumliches Sehen Stereomikroskopie

Stereoskopie: Technik zur Erzeugung eines Raumeindruckes

• Objekt im Raum wird von beiden Augen unter verschiedenen Winkeln betrachtet 

• unterschiedliche Bilder des Objektes in beiden Augen Beim stereoskopischen Sehen wird dem linken und rechten Auge je ein Halbbild angeboten 

• größerer Augenabstand oder geringere Entfernung zum Objekt 

größerer Winkel 

größere Unterschiede zwischen den Bildern 

• räumlicher Eindruck im Gehirn

Mikro-/Nanotechnologie

Stereomikroskopie

• 2 getrennt verlaufende Strahlengänge, im Stereowinkel (11-16°)

• jeder Strahlengang ist eigenes mikroskopisches Teilsystem 

 grundsätzlich aufrechte Bauweise

 • Auflichtbeleuchtung: Probe mit Punktstrahlern von oben oder von der Seite beleuchtet 

• Durchlichtoption: Beleuchtungsmöglichkeit von unten 

• Objekte lassen sich dreidimensional betrachten  3D- Darstellung feiner Oberflächenstrukturen 

• Vergrößerung < 200x

Mikro-/Nanotechnologie

Stereomikroskopie Greenough-Prinzip

• Zwei getrennte Einzelmikroskope – um den Stereowinkel (11 bis 16 Grad) gegeneinander geneigt 

• Achsen der optischen Systeme stehen nicht senkrecht auf dem Objekt 

Vorteile: Abbildungsqualität 

– Optik wird im Zentrum genutzt 

– Vorsatzoptik variiert Vergrößerungsbereich und Arbeitsabstände kompakte preiswerte Bauweise 

Nachteil: Modularität 

– eingeschränkt durch Kompaktbauweise

Mikro-/Nanotechnologie

Stereomikroskope Teleskop-Prinzip

• Zwei mikroskopische Teilsysteme parallel

 • gemeinsames Hauptobjektiv 

• außeraxiale Strahlenpaare erzeugen Stereowinkel Teilsystem 

• Achse des Objektivs steht senkrecht auf dem Objekt 

Vorteil: modularer Aufbau – paralleler Strahlengang unter- und oberhalb des Vergrößerungswechslers gestattet Einrichtung von Schnittstellen 

Nachteil: Abbildungsqualität – Hauptobjektiv nur in Randbereichen genutzt – hochwertige Objektive kompensieren den Effekt, aber teuer

Mikro-/Nanotechnologie

Wodurch unterscheidet sich das Linsensystem im REM mit dem in einem Lichtmikroskop?

· Magnetische Linsen bestehend aus stromdurchflossenen Spulen 

· Bündelung und Fokussierung des Elektronenstrahls durch elektrische und magnetische Felder

Mikro-/Nanotechnologie

Was ist der Vorteil einer Lanthanhexaborid Glühkathode gegenüber einer Wolframdraht Glühkathode?

● kleinere Elektronenwolke -> feinerer Elektronenstrahl 

● längere Lebensdauer

Mikro-/Nanotechnologie

Warum kann die theoretische Auflösungsgrenze im REM nicht erreicht werden?

● kein perfektes Vakuum 

● Gebäudeschwingungen 

● Fertigungsfehler/-toleranzen

Mikro-/Nanotechnologie

Welche für Effekte bewirkt der In-Lens SE-Detektor?

● Detektion von SE an der Auftreffstelle des Strahls 

● Verbesserung der Ortsauflösung 

● höhere Oberflächensensitivität 

● hohe Effizienz für geringe Arbeitsabstände

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